延边大学学报(自然科学版)

2021, v.47;No.142(02) 126-130

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CdO-ZnO复合薄膜的光电学特性研究
Optical and electrical properties of CdO-ZnO composite films

金健;栾书多;顾广瑞;

摘要(Abstract):

采用磁控溅射技术制备了不同原子百分比的CdOZnO复合薄膜,并利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、紫外可见近红外分光光度计、四探针电阻测试仪研究了薄膜的结构和光电学特性.研究表明:适量增加CdO掺杂量可提高薄膜在近红外区域的透射率;CdO-ZnO复合薄膜的光学带隙和电阻率随CdO含量的增加而减小,且当CdO和ZnO的原子百分比为4:1时薄膜的带隙和电阻率分别为2.09 eV和10.79×10~3Ω·cm.该研究结果可为制备高导电性和高透过率的薄膜提供参考.

关键词(KeyWords): CdO-ZnO复合薄膜;磁控溅射;掺杂;光学性能;电学性能

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 国家自然科学基金(51272224)

作者(Author): 金健;栾书多;顾广瑞;

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DOI: 10.16379/j.cnki.issn.1004-4353.2021.02.007

参考文献(References):

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